プロセス対応例
最大排気速度別ラインアップ
最大排気速度[L/min]
主要型式
仕様 / 型式 | SDE90X | SDE120TX | SDE200 | SDE303X/TX | SDE603X/TX | SDE1203X/TX | |
最大排気速度 [L/min] *1 *4 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |
到達圧力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | |||||
電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200~220V *5 | ||||||
消費電力 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5/3.0 | 1.6/3.1 | 2.0/3.2 | |
外観寸法 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 760 | 900 | ||
W | 370 | 400 | 400 | ||||
H | 501 | 500 | 905 |
*1) ヒータ無し仕様、N2パージ未使用時の値です。 *2) 到達運転時の消費電力概略値です。 *3) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。 *4) 最大排気速度は概略値です。 *5) 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談ください。 ※対応ガス種に関してはお問い合わせ下さい。
排気性能曲線
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PDFカタログ
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