耐プロセス・省エネ・大排気量対応モデル SDE シリーズ

縦型スクリューや特殊材料による高い耐食性 独自のスクリュー形状で省エネを実現 多彩なラインナップで全プロセスへ対応

プロセス対応例

プロセス対応例

最大排気速度別ラインアップ

排気速度別ラインアップ
最大排気速度[L/min]

主要型式

仕様 / 型式SDE90XSDE120TXSDE200SDE303X/TXSDE603X/TXSDE1203X/TX
最大排気速度
[L/min] *1 *4
1,3001,5003,3005,00010,00020,000
到達圧力
[Pa] *1
1.30.5
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V *5
消費電力 [kW]*21.32.82.71.5/3.01.6/3.12.0/3.2
外観寸法 [mm]*3L690930760900
W370400400
H501500905

*1) ヒータ無し仕様、N2パージ未使用時の値です。 *2) 到達運転時の消費電力概略値です。 *3) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。 *4) 最大排気速度は概略値です。 *5) 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談ください。 ※対応ガス種に関してはお問い合わせ下さい。

排気性能曲線

排気性能曲線

充実のオプション

プロセスに応じた多彩なドライポンプ温度仕様 ブースターポンプや配管の加温仕様が選択可能 フォアライン・アウトライン向け付帯機器の最適設計 集中モニタリングシステム(CMS)によるポンプ運転状態監視 除害装置(ヒータ・プラズマ・燃焼から選択可能)を搭載したトータル排気システムのご提案

PDFカタログ

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  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

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