主要型式
| 仕様 / 型式 | MU100PE/HE | MU300PE/HE | MU600PE/HE |
| 最大排気速度 [L/min] *2 | 1,660 | 5,000 | 10,000 |
| 到達圧力 [Pa] *2 | 3.0 | 0.5 | |
| 電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200～220V *3 | ||
| 消費電力 [kW] *4 | 0.6 | 0.8 | 0.85 |
| 外観寸法 [mm] L×W×H *5 | 630×350×360 | 630×350×520 | |
| 質量 [kg] | 70 | 110 | 130 |
*1. 使用用途は事前にご相談下さい。 *2. ヒータ無し仕様、N2パージ未使用時の値です。 *3. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。
*4. 到達運転時の消費電力概略値です。HOT-N2対応時は+0.2kWとなります。 *5. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。 *6) 最大排気速度は概略値です。
*大排気量ポンプもありますので、お問い合わせ下さい。
排気性能曲線
PDFカタログ
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