MUシリーズ

MU SERIES

MUシリーズの特徴

プロセス耐性・省エネの強化

主要型式

モデル*1MUP600EMUP1200EMUP1800EMUH3000
最大排気速度
[L/min]*2 *6
10,00019,00030,00050,000
到達圧力
[Pa] *2
0.5
電源電圧(50/60Hz)3相AC200~240V*5
N2流量[SLM]0~450~60
冷却水流量 [L/min]2
消費電力[kW]*30.80.951.11.6
外観寸法 [mm]*4L695850910
W285380420
H850950900

*1) ヒーター無し仕様、N2 パージ未使用時の値です。  *2) 到達運転時の消費電力概略値です。  *3) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*4) 最大排気速度は概略値です。 *5) 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。

排気性能曲線

排気性能曲線

PDFカタログ

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