MUシリーズの特徴
プロセス耐性・省エネの強化
主要型式
モデル*1 | MUP600E | MUP1200E | MUP1800E | MUH3000 | |
最大排気速度 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | |
到達圧力 [Pa] *2 | 0.5 | ||||
電源電圧(50/60Hz) | 3相AC200~240V*5 | ||||
N2流量[SLM] | 0~45 | 0~60 | |||
冷却水流量 [L/min] | 2 | ||||
消費電力[kW]*3 | 0.8 | 0.95 | 1.1 | 1.6 | |
外観寸法 [mm]*4 | L | 695 | 850 | 910 | |
W | 285 | 380 | 420 | ||
H | 850 | 950 | 900 |
*1) ヒーター無し仕様、N2 パージ未使用時の値です。 *2) 到達運転時の消費電力概略値です。 *3) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*4) 最大排気速度は概略値です。 *5) 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。
排気性能曲線
PDFカタログ
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