SDシリーズの特徴
プロセス耐性を継承し、進化を追求
主要型式
| モデル*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
| 最大排気速度 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
| 到達圧力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| 電源電圧(50/60Hz) | 3相AC200～240V*7 | ||||||||
| N2流量[SLM] | 0～80 | 0～120 | |||||||
| 冷却水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 消費電力[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外観寸法 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
*1) SDX 省エネ・ハーシュプロセス対応機、SDT ・SDH 耐プロセス性・スーパーハーシュ対応機 *2) ヒータ無し仕様、 N2パージ未使用時の値です
*3) 到達運転時の消費電力概略値です。 *4) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*5) 更なるプロセス耐性に優れたラインナップを揃えていますので営業担当までお問合せ下さい。 *6) 最大排気速度は概略値です。
*7) 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談ください。 ※対応ガス種に関してはお問い合わせ下さい。
排気性能曲線
PDFカタログ
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