- 2つの世界最「省」を実現 - MU-XE シリーズ

消費電力0.35kW A3 以下の230×450mm 省エネ、省フットプリントで世界No.1!!(排気速度同クラス) あらゆる製造装置に組込みが可能 2万台超えの出荷と超長期稼働実績

主要型式

仕様 / 型式 MU100XEMU180XMU300XEMU600XEMU1200XE
最大排気速度
[L/min] *1 *5
1,6603,0005,00010,00020,000
到達圧力
[Pa] *1
1.50.5
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V *2
消費電力
[kW] *3
0.250.50.450.50.6
外観寸法 [mm] L×W×H *4450×230×275550×280×299450×230×520530×230×520625×275×580
質量 [kg]6095100120165

*1. N2パージ未使用時の値です。 *2. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。 *3. 到達運転時の消費電力概略値です。
*4. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。 *5) 最大排気速度は概略値です。
*大排気量ポンプもありますので、お問い合わせ下さい。

排気性能曲線

排気性能曲線

PDFカタログ

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